集微网音讯，跟着集成电路制程工艺节点越来越先进，对实践制作的几个环节也提出了新要求，清洗环节的重要性日益凸显。跟着线宽微缩，晶圆制作的良率跟着线宽缩小而下降，而进步良率的方法之一就是添加清洗工艺，在80-60nm制程中，清洗工艺大约100多个过程，而到了20-10nm制程，清洗工艺上升到200多个过程以上。
关于未来的先进产线而言，为了防止赢利丢失，添加清洗设备的数量是必然选择。众所周知，全球清洗设备出现寡头独占的格式，但是有一家来自我国的本乡设备企业，凭仗着差异化技能优势正逐步在商场中锋芒毕露，乃至有望打破现有清洗设备商场格式，它就是盛美半导体。
近年来，在全球半导体工业重心持续向我国大陆搬运的布景下，我国半导体设备企业也正迎来自己的“高光时间”。据SEMI估计，2019-2020年韩国、我国大陆、我国台湾将排列世界前三大设备商场，2020年我国大陆有望升至全球最大设备商场。
“这几年我国半导体工业的开展可以说是日新月异。尤其是在新建产线方面，包含长江存储、合肥长鑫、中芯世界、华虹华力都有多个晶圆厂正在扩建中，一起还有积塔半导体、士兰微、粤芯等也在新建产线中，所以我觉得现在国内的商场环境特别好。尤其是关于已经有十几年技能储备的盛美半导体来说，咱们正赶上一个快速开展的好时期。”盛美半导体设备（上海）股份有限公司董事长王晖博士在承受集微网记者采访时说道。
实践上，除了全球半导体全体商场增加的带动，清洗机设备商场规模增加的驱动力，首要体现在技能进步的两个方面：一方面是跟着芯片的制程逐步缩小，清洗成为出产芯片过程中重复次数最多的过程；另一方面是跟着存储器从2D向3D改变，此刻清洗作用不能只是停留在外表，还需求在无损情况下清洗内部聚合物残留、污染物及颗粒。
依据TMR统计数据，估计2020年全球清洗机设备商场规模将到达35-40亿美元，2015-2020年的年均复合增速达6.8%。毫无疑问，国内的清洗设备商场必将面对更大的开展时机。
正如王晖博士所说，国内设备企业必定要牢牢捉住我国半导体工业的开展时机，不只要将商场做大，也要将我国的半导体设备做强，不断提高自己的中心技能水平，一起维护好本身的知识产权，勇于用法律手段维护本身的知识产权。
因为半导体设备职业具有高本钱密布、高专利壁垒、初期高投入低报答的特色，使得新玩家很难切入其间。尤其是在全球清洗设备商场中，前三名日本Screen（迪恩士）、日本Tokyo Electron（东京电子）和美国Lam Research（泛林）算计占有着近80%的商场份额。此刻，新玩家要想打破寡头独占格式，有必要要有绝无仅有差异化的技能和商场优势。
为此，盛美半导体从一开端切入清洗设备商场便决议要走差异化道路，然后与世界厂商竞赛。通过二十多年的技能储备，现在的盛美半导体已生长为国内清洗设备的“领头羊”，公司研制团队先后开宣告了SAPS、TEBO、Tahoe等全球抢先的半导体清洗技能及设备。
据王晖介绍，2009年，盛美半导体第一个兆声波清洗技能SAPS获得打破后，便进入SK海力士无锡出产线测验，而这也是国产设备第一次进入世界闻名厂商；2015年，公司研制团队又开宣告TEBO无损伤兆声波清洗技能；2018年，盛美半导体再下一城，发布了Tahoe高温硫酸清洗设备。
“现在在国内的国产清洗设备商场中，盛美半导体占有着80%左右的商场份额，咱们是现在国内商场份额最大、产品最全的清洗设备企业。”王晖告知集微网记者。
值得一提的是，盛美半导体并没有中止自己的开展脚步，除了相继研制出SPAS、TEBO、Tahoe等全球抢先的半导体清洗技能以外，还推出了三款半要害清洗设备：单片反面清洗设备、槽式主动清洗设备、单片冲洗设备。别的研制出的镀铜设备也已进入工业链前道和后道，抛光设备已进入后道，未来会切入前道，并持续向5nm、3nm等先进制程工艺探究。
与此一起，由湿法设备切入干法设备已从王晖的规划变为实际。他表明，盛美半导体刚刚发布了一款干法设备——立式LPCVD炉管设备。现在立式炉管设备全球商场规模有将近17亿美元，且只要东京电子、日立世界、北方华创等极少数国内外厂商有才干出产这一设备。
半导体工业是一个高度全球化的工业，世界上现在没有任何一个国家可以凭仗自己的力气树立一条先进的半导体出产线，即就是美日韩等半导体强国。
“之所以说半导体工业是一个全球化工业，是因为整个设备和出产线的体量是有限的，假如只能限制在某个区域或许某一个国家，那它的产值和赢利就都是有限的，底子无法去支撑企业巨大的研制费用。”王晖解释道。
王晖以为，在全球化的趋势下，不论是国内的设备企业仍是国外的设备企业，都需求一起维护全球化的概念。只要将国内的设备商场开放给国外的设备企业，一起国内的设备企业也有时机进军国外商场，才干确保全球设备工业的健康、持续开展。
而在全球化的商场竞赛格式中，针对国内设备企业，王晖主张必定要注意几点：一是要尊重国外企业的知识产权（IP），一起也要开展和维护自己的中心IP；二是要确保企业的毛利率在40%-45%之间，假如可以在45%以上更好，但假如毛利率低于30%，则意味着企业根本没有研制才干。
关于盛美半导体而言，公司未来的开展方针必定是向世界商场进军。据集微网了解，2019年年末，盛美半导体宣告上海临港研制及出产中心项目正式发动，而临港项目也是盛美半导体全球化开展布局中非常重要的一环。估计到2022年左右，临港项目能正式建成，到时它将供给盛美半导体未来挨近100亿元设备出产的才干。
2017年，盛美半导体登陆纳斯达克交易所，成为国内首家赴美上市的半导体设备企业。现在，盛美半导体正推进公司在国内科创板上市。王晖表明，进军科创板将使盛美半导体更加深植于我国商场，与我国半导体业一起生长，未来也会保持在中美双方的上市架构，服务好我国及全球客户，为他们供给差异化半导体加工工艺解决方案，也为科创板及纳斯达克的盛美股民发明长时间的报答价值。
