所以无论是台积电仍是三星，想要持续深耕高精度工艺，就必须从ASML处抢购年产量仅为数十台的高端EUV光刻机。
但在芯片制作过程中，中心设备并非只要光刻机一种，蚀刻机的重要性也不容小觑。材料显现，蚀刻机首要担任把复制到硅片上的电路结构进行微雕，雕刻出沟槽和接触点，为线路供给空间。
由此可见，蚀刻机的作业精度一点点不亚于用光将掩膜上的电路结构复制到硅片上的光刻机。
因此，把握蚀刻机制作技能关于我国半导体工业而言相同具有重要意义。在这一方面不同于光刻机范畴，蚀刻机是现在我国最具优势的半导体设备范畴。
据IC Insights的数据，时至今日，蚀刻设备的国产化率现已到达20%以上，而且国产蚀刻机的商场规模也在跟着我国半导体商场规模的扩张不断提高。
站在全球商场的视点来看，尽管美国泛林半导体、使用材料以及日本的东京电子这三家顶尖的蚀刻机公司占有了94%的商场。
但除了日美三巨子之外，我国的蚀刻机龙头企业中微半导体，也处于业界抢先地位。揭露材料显现，中微半导体正式成立于2004年，至今停止已有16年的发展史。
虽然16年关于半导体范畴的企业而言并不算长，但中微半导体却成功完成了国产蚀刻机从无到有的打破，乃至拿到了世界抢先的成果。
笔者了解到，中微半导体是全球第一家成功研制出5nm精度蚀刻机的企业，现在该公司的5nm蚀刻机现已经过台积电的验证。
2020年，中微半导体5nm蚀刻机将会被台积电使用于5nm生产线。值得一提的是，联华电子、SK海力士等职业巨子也是中微半导体的客户。
事实上，早在2018年中微半导体就现已成为职业抢先的蚀刻机巨子。揭露材料显现，当年美方的相关设备由于涉嫌侵略中微半导体的专利被我国海关扣下。
美企自动与中微半导体商洽，而且两边达到相互授权的宽和协议后后才被放行。还有数据显现，到2019年，中微半导体把握了多款具有自主知识产权的芯片设备，在全球范围内请求的专利数量达1200多项。
在中微半导体的助力下，我国半导体工业有望更快脱节美方的约束，完全完成独当一面。
